產(chǎn)品簡介

　　XE15型原子力顯微鏡是韓國PARK原子力顯微鏡公司專為工業(yè)檢測實(shí)驗室設(shè)計開發(fā)的一款大尺寸原子力顯微鏡，這是一款全自動的原子力顯微鏡系統(tǒng)，掃描范圍達(dá)200mm*200mm，掃描分辨率0.03nm，集成了PARK公司技術(shù)“非接觸式工作模式”“智能掃描模式”“基于壓電陶瓷堆積技術(shù)的平板掃描器”，并標(biāo)配快速掃描模式，變速掃描模式，多種測量模式可選，XE15型原子力顯微鏡被廣泛用于半導(dǎo)體，LCD，LED，OLED，硬盤等工業(yè)領(lǐng)域的實(shí)驗室QC控制。

　　產(chǎn)品技術(shù)特色

　　(1）采用非接觸式工作模式：PARK公司是目前一家真正實(shí)現(xiàn)非接觸測量模式的原子力顯微鏡廠家，在不影響測量精度的前提下，可實(shí)現(xiàn)樣品與針尖的非接觸測量，避免了由于針尖磨損帶來測量重復(fù)性差與探針磨損快的缺點(diǎn)。

　　下圖是測量CrN樣品的實(shí)例，CrN樣品的硬度很高，具有三角形結(jié)構(gòu)，采用非接觸模式測量100幅圖后，圖像質(zhì)量幾乎無變化，針尖幾乎無磨損?。?！

　　(2）測量分辨率：采用Park公司的新型應(yīng)變傳感器,憑借著0.03nm的超低噪聲。

　　(3）采用高性能平板掃描器：采用技術(shù)得三軸分離的平板掃描器，在整個80μm的掃描范圍內(nèi)誤差＜1nm !!!!

　　(4）操作極其簡單：

　　- 具有“智能掃描模式”Smart scan：這是PARK公司的技術(shù)之一，用戶只需要選擇掃描速度及掃描范圍，系統(tǒng)即可自動調(diào)整反饋,無需尋找共振峰,無需調(diào)整反饋參數(shù)gain值

　　- 具有中文，英文等多種操作界面

　　- 憑借著我們的預(yù)準(zhǔn)直懸臂架，懸臂在裝載時激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同軸視角（行業(yè)無二）讓您可以輕松地找到激光光點(diǎn)。由于激光垂直照射在懸臂上，您可以憑直覺旋動兩個定位旋鈕，將激光光點(diǎn)隨著X軸和Y軸移動。這樣，您可以在激光準(zhǔn)直界面中，輕易地找到激光并將其定位在PSPD上。此時，您只需要稍作調(diào)整實(shí)現(xiàn)信號的，便可開始獲取數(shù)據(jù)。

　　(5）具有非常廣泛的原子力顯微鏡模式：

　　主要技術(shù)參數(shù)

　　- XY閉環(huán)掃描范圍大：達(dá)100μm*100μm

　　- Z向閉環(huán)掃描范圍大：達(dá)12μm,25μm可選

　　- 超高的測量分辨率：可達(dá)0.03nm

　　- 全自動掃描范圍：150mm*150mm（200mm*200mm可選）

　　部分測試實(shí)例

　　PARK公司科研級原子力顯微鏡選型指南：

　　- XE7型原子力顯微鏡：低預(yù)算客戶的理想選擇

　　- NX10型原子力顯微鏡：科研級客戶及工業(yè)檢測實(shí)驗室的

　　- NX-Hivac真空型原子力顯微鏡：高分辨及保障無氧無水環(huán)境

　　- NX12型生物型原子力顯微鏡：神經(jīng)學(xué)，生物細(xì)胞檢測及藥物檢測，單細(xì)胞通道客戶的理想選擇

　　- XE15型大樣品原子力顯微鏡：大尺寸樣品及工業(yè)檢測實(shí)驗室的

　　- NX20型大樣品原子力顯微鏡：大尺寸樣品，工業(yè)檢測實(shí)驗室及在線檢測的

　　- 工業(yè)級原子力顯微鏡歡迎來電詳細(xì)咨詢！