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當(dāng)前位置：大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司>>大族激光-等離子清洗/除膠>> 晶圓等離子清洗機(jī)（等離子灰化/去光刻膠/聚合物剝離/預(yù)處理/介電質(zhì)刻蝕/晶圓凸點(diǎn)/有機(jī)污染去除/晶圓減?。?/p>
功能：
可清洗晶圓表面的顆粒、有機(jī)物、金屬雜質(zhì)、氧化物
特點(diǎn)：
1)相較于真空等離子，可以在常壓下工作
2)工作效率遠(yuǎn)高于真空等離子
3)氬氣等離子輝光為低溫，不會(huì)破壞晶圓
| 序號(hào) | 項(xiàng)目 | 規(guī)格參數(shù) |
| 1 | 電源電壓 | 220（±10%）VAC，50/60Hz |
| 2 | 電源需求 | 220VAC/10A以上， |
| 3 | 工作頻率 | 13.65MHz |
| 4 | 設(shè)備功率 | <3.2KW（依實(shí)際為準(zhǔn)） |
| 5 | 氣源要求 | 根據(jù)產(chǎn)品選AR，N2，O2等氣體 |
| 6 | 壓縮空氣 | ≥0.3MPa（3kg/cm2） |
| 7 | 主機(jī)尺寸 | 1260(L)x600(W)x1980(H)mm |
| 8 | 等離子頭尺寸 | 400(L)x80(W)x60(H)mm |
