FGPQ系列 DQ-SF6氣體動(dòng)態(tài)配氣儀

產(chǎn)品型號 | FGPQ-SF6 | FGPQ-N2 |
流量范圍 | 0~150ml/min [SF6] | 0~569ml/min [N2] |
準(zhǔn) 確 度 | ±1.0% F.S | |
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S | |
*大輸出流量 | 1000ml/min | |
*小輸出流量 | 2% F.S | |
*大稀釋比為 | 200:1 | |
工作電源 | 220VAC、50Hz | |
環(huán)境溫度 | -20℃~60℃ | |
相對濕度 | 0~90%RH | |
預(yù)熱時(shí)間 | 20min | |
管道連接 | **特氟龍管快插連接 | |
減 壓 閥 | | |
尺寸 | 465×370×240(mm3) |