一、簡(jiǎn)介

傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀（Traditional Dual-frequency Laser Interferometer series，TDI）采用傳統(tǒng)的空間光傳輸，分辨率可達(dá)0.077nm，它具有*的測(cè)量性能以及實(shí)時(shí)閉環(huán)反饋功能，主要應(yīng)用于亞納米精密測(cè)量領(lǐng)域。

上海拍頻光電科技有限公司自主開(kāi)發(fā)的傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀系統(tǒng)，主要特點(diǎn)如下：

?支持位移、速度、角度測(cè)量

?采用平鏡干涉儀測(cè)量，達(dá)到4倍光學(xué)細(xì)分

?具有高數(shù)據(jù)采樣率，支持位移和速度的實(shí)時(shí)閉環(huán)反饋

?采用雙頻干涉技術(shù)，抗力強(qiáng)，易進(jìn)行多軸擴(kuò)展，測(cè)量結(jié)果噪聲低

?單塊數(shù)字信號(hào)處理器支持相互獨(dú)立的6軸同時(shí)測(cè)量，并支持多處理器級(jí)聯(lián)

二、系統(tǒng)構(gòu)成

傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀的主要架構(gòu)如下圖所示。

傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀主要由雙頻激光器、激光器可調(diào)底座、導(dǎo)光元件、導(dǎo)光元件可調(diào)底座、光纖耦合器、光纖、信號(hào)處理卡等部件組成。

三、性能參數(shù)

上海拍頻光電科技有限公司研發(fā)的傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀，主要系統(tǒng)參數(shù)如下表：

備注：可定制VPX通訊接口，可定制更高測(cè)量分辨率。