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SC2020晶體管參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)
系統(tǒng)概述
SC2020晶體管參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)是我司自主研發(fā)的半導(dǎo)體分立器件電學(xué)參數(shù)測(cè)試的專(zhuān)用設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廠(chǎng)家進(jìn)行圓片中測(cè)或封裝成測(cè)，各類(lèi)整機(jī)廠(chǎng)家、科研院所的質(zhì)量檢測(cè)部門(mén)IQC進(jìn)行來(lái)料檢驗(yàn)，研發(fā)部門(mén)進(jìn)行失效分析、選型配對(duì)、可靠性分析測(cè)試。
系統(tǒng)為桌面放置的臺(tái)式機(jī)結(jié)構(gòu)，由測(cè)試主機(jī)和程控電腦兩大部分組成。外掛各類(lèi)夾具和適配器，還能夠通過(guò)Prober接口、Handler接口可選（16Bin）連接分選機(jī)和機(jī)械手建立工作站，實(shí)現(xiàn)快速批量化測(cè)試。通過(guò)軟件設(shè)置可依照被測(cè)器件的參數(shù)等級(jí)進(jìn)行自動(dòng)分類(lèi)存放。能夠應(yīng)對(duì)“來(lái)料檢驗(yàn) ”“失效分析 ”“選型配對(duì) ”“量產(chǎn)測(cè)試 ”等不同應(yīng)用場(chǎng)景。
系統(tǒng)軟件基于Labview平臺(tái)開(kāi)發(fā)，填充式菜單界面，帶自動(dòng)糾錯(cuò)功能，可進(jìn)行器件參數(shù)的分檔、分類(lèi)編程，并可實(shí)時(shí)顯示和記錄分檔、分類(lèi)測(cè)試結(jié)果，測(cè)試結(jié)果和統(tǒng)計(jì)結(jié)果均可以EXCEL格式存貯于計(jì)算機(jī)中，根據(jù)需要可以打印輸出。
系統(tǒng)特點(diǎn)
◆ 系統(tǒng)采用大規(guī)模32位ARM&MCU設(shè)計(jì)
◆ 可測(cè)試7大類(lèi)26分類(lèi)的電子元器件
◆ 程控高壓源1400V，提供2000V選配
◆ 程控高流源40A，提供100A,200A,500A 選配
◆ 控制極電壓可達(dá)40V，電流可達(dá)100mA
◆ 系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集采用16位ADC，1M/S采樣速率
◆ 測(cè)試漏流最小分辨率達(dá)1.5pA
◆ 四線(xiàn)開(kāi)爾文連接保證加載測(cè)量的準(zhǔn)確
◆ Prober接口、Handler接口可選（16Bin）
◆ 連接分選機(jī)測(cè)試量為每小時(shí)1萬(wàn)個(gè)
◆ 可為用戶(hù)提供豐富的測(cè)試適配器
◆ 可選配測(cè)試結(jié)電容，諸如Ciss，Crss，Coss；
◆ 系統(tǒng)符合《GJB128半導(dǎo)體分立器件試驗(yàn)方法》等相應(yīng)的標(biāo)及國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。
系統(tǒng)指標(biāo)
? 技術(shù)指標(biāo)
系統(tǒng)功能模塊 | 量程 | 分辨率 | 精度 |
低壓源（FV） | 0～±40V | 1uV | ±0.1% |
低流源（FI） | 0～±100mA | 1pA | ±0.1% |
高壓源（HVS） | 0～±1400V/2000V | 1mV | ±0.5% |
高流源（HIS） | 0～±40A/100A/200A/500A | 1uA | ±1% |
電壓測(cè)量(MV) | 0～±1400V/2000V | 1uV | ±0.1% |
電流測(cè)量(MI) | 0～±40A/100A/200A/500A | 1pA | ±0.1% |
? 測(cè)試能力
器件種類(lèi) | 測(cè)試參數(shù) |
二極管類(lèi) (含TVS SBD ZENER整流橋) | BVR、IR、VF、VZ、RZ、ZZ、Vrrm、Irrm、Tr（選配） |
三極管 | BVCBO、BVCEO、BVCES、BVEBO、HFE、ICBO、ICEO、ICES、IEBO、VBESAT、VCESAT、VBE、選配（Ciss、Coss、Crss） |
可控硅/雙向可控硅 | IGT、VGT、VTM、VDRM、VRRM、IH、IL、IDRM、IRRM |
場(chǎng)效應(yīng)管 | VGSTH、IDSS、BVDSS、VDSON、IGSS、VSD、VGSON、IDON、RDSON、GFS、選配（Ciss、Coss、Crss） |
IGBT | BVCES、BVGES、ICES、IGES、VCESAT、VGETH、VCEON、VGEON、VF、ICON、選配（Ciss、Coss、Crss） |
壓敏電阻 | VRRM、VDRM、IRRM、IDRM、Cka |
光耦 | VF、IR、BVCEO、VF、IR、BVCEO、BVECO、ICEO、CTR、VCESAT、 選配（Tr、Tf） |
三/四端穩(wěn)壓器 | Vout、Iin、IB、VD、Max_lo、Ro |
繼電器 | Vf、Ir、Vl、Il、Ift、Ron、選配（Ton、Toff） |
功率驅(qū)動(dòng)器、 高邊功率開(kāi)關(guān) | Vbb(AZ)、Von(CL)、Rson、Ibb(off)、Il(lim)、Coss、Fun_pin_volt、lvs(off)、lvs(on)、Rson_h、Rson_l、lin、Iinh、ls_Volt、Sr_volt |
電壓保護(hù)器 | Vrrm、Vdrm、Irrm、Idrm、Cka、△Vr |
基準(zhǔn)IC模塊 | Vref、 △Vref、lref、Imin、loff、Zka、Vka |
傳感監(jiān)測(cè)類(lèi) | 電流傳感器（ACS712XX系列、CSNR_15XX系列）（選配）； 霍爾器件（MT44XX系列、A12XX系列）（選配）； 電壓監(jiān)控器（選配）；電壓復(fù)位IC（選配）； |
應(yīng)用領(lǐng)域及場(chǎng)景
>測(cè)試分析(功率器件研發(fā)設(shè)計(jì)階段的初始測(cè)試)
>失效分析(對(duì)失效器件進(jìn)行測(cè)試，查找失效機(jī)理。以便于對(duì)電子整機(jī)的整體設(shè)計(jì)和使用過(guò)程提出改善方案)
>選型配對(duì)(在器件焊接至電路板之前進(jìn)行全部測(cè)試，將測(cè)試數(shù)據(jù)比較一致的器件進(jìn)行分類(lèi)配對(duì))
>來(lái)料檢驗(yàn)(研究所及電子廠(chǎng)的質(zhì)量部(IQC)對(duì)入廠(chǎng)器件進(jìn)行抽檢/全檢，把控器件的良品率)
>量產(chǎn)測(cè)試(可連接機(jī)械手、掃碼槍、分選機(jī)等各類(lèi)輔助機(jī)械設(shè)備，實(shí)現(xiàn)規(guī)?；⒆詣?dòng)化測(cè)試)
