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光電傳感器的特點是什么呢?光電傳感器七大特點
光電傳感器是采用光電元件作為檢測元件的傳感器,一般由光源、光學(xué)通路、光電元件三部分組成,被廣泛用于多個領(lǐng)域中。光電傳感器的特點是什么么?下面小編就來具體介紹一下,光電傳感器的7大特點,希望可以幫助到大家。
高溫下大壓力測量在工業(yè)、航空航天、冶金、石油勘探等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。例如在航空航天領(lǐng)域,高溫壓力傳感器可用于火箭發(fā)動機、航空發(fā)動機、重型燃氣汽輪等高溫高壓的惡劣環(huán)境,用于實現(xiàn)對其運行狀態(tài)的監(jiān)控和健康評估。在石油化工領(lǐng)域,可用于地下石油溫度、壓力的監(jiān)測,進而為石油開采提供數(shù)據(jù)支持。
光電傳感器一般地,當(dāng)壓力范圍在10~100 MPa之間時,稱之為大壓力,大于100 MPa的壓力為超大壓力。高溫壓力傳感器是指在高于125℃環(huán)境下能正常工作的壓力傳感器[1]。
近年來,隨著光電傳感器由于其具有體積小、功耗低、成本低等優(yōu)勢,而得到了廣泛的應(yīng)用[1,2]。然而,該類傳感器在超過120℃環(huán)境下使用時,會由于內(nèi)部PN結(jié)出現(xiàn)漏電而導(dǎo)致傳感器性能急劇下降,進而導(dǎo)致失效[3,4,5,6]。因此,如何把MEMS技術(shù)的優(yōu)勢和現(xiàn)有的技術(shù)相結(jié)合,通過改進工藝、選擇新型的耐高溫材料,進而克服MEMS傳感器的上述缺點,成為目前國內(nèi)外研究的重中之重。該研究目前也取得了巨大進展,多種類型材料組合形成的新型敏感元件紛紛問世。
以傳感器敏感元件材料為分類目標(biāo),針對目前常用的光電傳感器單晶硅)壓力傳感器、光電傳感器以及光纖高溫壓力傳感器)的工作原理、國內(nèi)外研究現(xiàn)狀等進行了闡述。
光電傳感器主要采用SiO2作為介質(zhì)薄膜來代替PN結(jié),進而實現(xiàn)電隔離,該傳感器結(jié)構(gòu)原光電傳感器該傳感器工作原理與硅壓阻式壓力傳感器類似,都是以單晶硅膜片作為敏感元件,把壓力值轉(zhuǎn)換為膜片的應(yīng)力變化,通過壓敏電阻把變化量轉(zhuǎn)化為電壓信號,實現(xiàn)對壓力的測量。由于單晶硅本身的性質(zhì)受溫度影響較大,因此基于單晶硅的擴散硅壓阻式壓力傳感器使用溫度范圍受到了很大的限制。而多晶硅薄膜作為壓阻敏感材料可使傳感器使用溫度范圍極大拓寬。傳感器在制作光電傳感器,低壓氣相淀積)工藝在SiO2上制作多晶硅膜,再通過擴散工藝制作基于多晶硅材料的壓敏電阻。由于以光電傳感器在高溫下的漏電,從而提高了傳感器工作溫度。
光電傳感器的七大特點
?、贆z測距離長
如果在對射型中保留10m以上的檢測距離等,便能實現(xiàn)其他檢測手段(磁性、超聲波等)無法離檢測。
?、趯z測物體的限制少
由于以檢測物體引起的遮光和反射為檢測原理,所以不象接近傳感器等將檢測物體限定在金屬,它可對玻璃.塑料.木材.液體等幾乎所有物體進行檢測。
③響應(yīng)時間短
光本身為高速,并且傳感器的電路都由電子零件構(gòu)成,所以不包含機械性工作時間,響應(yīng)時間非常短。
④分辨率高
能通過高級設(shè)計技術(shù)使投光光束集中在小光點,或通過構(gòu)成特殊的受光光學(xué)系統(tǒng),來實現(xiàn)高分辨率。也可進行微小物體的檢測和高精度的位置檢測。
?、菘蓪崿F(xiàn)非接觸的檢測
可以無須機械性地接觸檢測物體實現(xiàn)檢測,因此不會對檢測物體和傳感器造成損傷。因此,傳感器能長期使用。
?、蘅蓪崿F(xiàn)顏色判別
通過檢測物體形成的光的反射率和吸收率根據(jù)被投光的光線波長和檢測物體的顏色組合而有所差異。利用這種性質(zhì),可對檢測物體的顏色進行檢測。
⑦便于調(diào)整
在投射可視光的類型中,投光光束是眼睛可見的,便于對檢測物體的位置進行調(diào)整。
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