德國(guó)inficon熱電離真空計(jì)BAG552

對(duì)于需要獨(dú)立熱離子計(jì)技術(shù)的應(yīng)用，Trigon™ 系列包括單一技術(shù) Bayard-Alpert 熱離子計(jì) BAG552。

BAG552 設(shè)計(jì)用于壓力范圍為 5 × 10 -10  ... 2 x 10 -2  mbar 的氣體真空測(cè)量。支持的雙燈絲提供BAG552的精度、可重復(fù)性和使用壽命。BAG552 還可與 INFICON 真空計(jì)控制器系列VGC501、VGC502、VGC503結(jié)合使用。

inficon熱電離真空計(jì)BAG552優(yōu)點(diǎn)

2 üPure Bayard-Alpert 測(cè)量系統(tǒng)適用于較寬的 UHV 和 HV 測(cè)量范圍

2 ü2 條用于 Bayard-Alpert 系統(tǒng)的燈絲

2 ü電隔離電子器件以避免雜散電流

2 ü滑動(dòng)排放模式可避免切換排放流時(shí)壓力跳躍和凍結(jié)

2 ü由于可拆卸校準(zhǔn)數(shù)據(jù)芯片，可烘烤性更長(zhǎng)

2 ü設(shè)定點(diǎn)繼電器

2 ü明亮、大尺寸 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉(zhuǎn)），帶用戶界面

2 ü模擬輸出、RS232C串行接口、EtherCAT®

2 ü可與 VGC50x 控制器系列結(jié)合使用

2 üRoHS 合規(guī)性

inficon熱電離真空計(jì)BAG552典型應(yīng)用

ü ·半導(dǎo)體工藝中的壓力測(cè)量

ü ·工業(yè)涂料

ü ·高真空至BAG552真空范圍系統(tǒng)的一般真空測(cè)量和控制

inficon熱電離真空計(jì)BAG552規(guī)格

測(cè)量范圍（空氣、O 2、CO、N 2）: 5 × 10 -10 … 2 × 10 -2毫巴

準(zhǔn)確性:  

1 × 10 -8 … 2 × 10 -2毫巴: ±15 讀數(shù)

重復(fù)性: 讀數(shù)的 5%，10 -8 … 2 × 10 -2 mbar（穩(wěn)定 10 分鐘后）

暴露于真空的材料: 不銹鋼、NiFe、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、Ni、鎢