在日益迅猛發(fā)展的工業(yè)生產(chǎn)中，產(chǎn)品表面的平整度是衡量產(chǎn)品質(zhì)量的重要指標之一。平整度檢測廣泛應(yīng)用于各個行業(yè)，如汽車制造、航空航天、電子設(shè)備等。如電機行業(yè)中電池或手機外殼的平面度檢測、半導體行業(yè)應(yīng)用于液晶面板的平面度檢測等。

與此同時，在傳統(tǒng)的平整度檢測中存在效率低、精度差等問題，而LVDT（線性可變差動變壓器）傳感器以其高精度、高可靠性、無摩擦測量等優(yōu)點，在現(xiàn)代物體平整度檢測中得到了廣泛應(yīng)用。

工作原理：

LVDT是一種電磁感應(yīng)式傳感器，其工作原理基于法拉第電磁感應(yīng)定律。LVDT由一個初級線圈和兩個次級線圈組成，線圈纏繞在一個鐵芯上。當鐵芯位于中心位置時，兩個次級線圈的輸出電壓相等，相位相反，抵消后輸出電壓為零。當鐵芯沿軸向移動時，兩個次級線圈的輸出電壓發(fā)生變化，差值與鐵芯的位移成線性關(guān)系。通過測量輸出電壓的變化，可以精確地測量鐵芯的位移。

LVDT外殼通常采用不銹鋼保護套，中間包裹具有高磁導率的磁屏蔽層以及防潮層，可在強磁場、大電流、潮濕、粉塵等惡劣環(huán)境下使用，部分工業(yè)級LVDT采用特種材料，可在250°C高溫或1000bar高壓環(huán)境下工作。

LVDT主要特點

1. 無摩擦測量：在使用過程中，鐵芯和線圈之間沒有機械接觸，因此LVDT不存在蹭擦、拖曳或其他摩擦途徑。

2. 機械壽命無限長：由于鐵芯和線圈之間通常沒有接觸，因此LVDT沒有部件會相互摩擦或磨損。

3. 無限的分辨率：在無摩擦結(jié)構(gòu)中根據(jù)電磁耦合原則操作，LVDT可以測量鐵芯位置極小的變化。

4. 零位可重復性：LVDT固有零點位置非常穩(wěn)定且可重復，即使超過其很寬的工作溫度范圍也是一樣的。  

5. 軸向抑制：LVDT對于鐵芯的軸向運動非常敏感，徑向運動相對遲鈍。這樣LVDT可以用于測量不是按照精準直線運動的鐵芯。

6. 抗超程序壞：大多數(shù)LVDT的內(nèi)部孔在兩端都是開口的，如果發(fā)生意外的超程，則鐵芯能夠通過傳感器線圈配件，而不會導致?lián)p壞。

7. 快速動態(tài)響應(yīng)：由于常規(guī)操作過程中不存在摩擦，因此LVDT可以很快地響應(yīng)鐵芯位置的變化。

8. 輸出：LVDT輸出為與位置直接相關(guān)的模擬信號，如果發(fā)生斷電，無需重新校準即可恢復測量（斷電后需重新上電才能獲取當前位移值）

LVDT常見【平整度檢測】應(yīng)用:

·工件表面平整度檢測： 通過將LVDT探頭接觸工件表面，可以測量工件表面的高度變化，從而評估其平整度。

板材平整度檢測： 在板材生產(chǎn)過程中，通過陣列式LVDT布局，配合自動化掃描機構(gòu)，可實現(xiàn)大尺寸板材的全表面平整度映射。

·晶圓平整度檢測： 在半導體行業(yè)中，晶圓的平整度對芯片的性能有重要影響。LVDT可以用于精確測量晶圓表面的平整度。

蘭寶傳感LVDT傳感器：

l *微米級重復精度

l 5-20mm多量程可選

l 輸出方式全面，開關(guān)量，模擬量，RS485可選

l 低至3N的感應(yīng)頭壓力，無論金屬還是玻璃表面都可以無磨損檢測

l 外形尺寸豐富，滿足各種應(yīng)用空間