半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備上用到很多的稱(chēng)重傳感器及壓力傳感器，這些年，與國(guó)內(nèi)不少的半導(dǎo)體設(shè)備廠家進(jìn)行合作過(guò)，具體哪些設(shè)備用到什么傳感器，分別闡述以下：

1、在半導(dǎo)體露光裝置上的使用：

該設(shè)備上通常是用壓力傳感器，對(duì)性能要求很高，長(zhǎng)期穩(wěn)定性要好，精度要高，主要是通常監(jiān)測(cè)氣壓，連接晶圓浮起進(jìn)行振動(dòng)對(duì)策，此時(shí)的氣壓用精密壓力傳感器控制，且產(chǎn)生的廢氣液體的管理也是由稱(chēng)重傳感器來(lái)計(jì)量。

選配的氣壓傳感器，采用擴(kuò)散硅敏感元件，進(jìn)口材料。

2、在晶圓洗凈裝置的應(yīng)用：

該設(shè)備上安裝的是梁式和膜盒式稱(chēng)重測(cè)力傳感器，對(duì)性能要求，精度高，穩(wěn)定性好，當(dāng)晶圓在清洗中，清洗刷在工作的時(shí)候，會(huì)施加適當(dāng)力，對(duì)其力的控制，就是由傳感器來(lái)抓取反饋完成的。

3、在半導(dǎo)體樹(shù)脂成型設(shè)備的應(yīng)用：

半導(dǎo)體元器件在封裝時(shí)，環(huán)氧樹(shù)脂經(jīng)過(guò)塑封機(jī)把晶圓及引線(xiàn)框架包裹，成為單個(gè)完整的電子元器件，在設(shè)備上監(jiān)測(cè)樹(shù)脂的供給量，需測(cè)量模具的鎖模力射出力，常選拉桿應(yīng)變計(jì)的鎖模力傳感器套件。

還有半導(dǎo)體設(shè)備種類(lèi)很多，實(shí)際應(yīng)用功能及作用都不同，所以其它的應(yīng)用，歡迎依實(shí)際需求咨詢(xún)。