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SEMI-e看點速覽|廣明源172nm MINI實驗?zāi)=M首秀亮相

2025年05月29日 15:25來源:廣明源人氣:120

  6月4-6日,廣明源將參展2025 SEMI-e 中國(深圳)國際半導(dǎo)體展覽會,誠邀行業(yè)伙伴蒞臨14號館14G22展位,現(xiàn)場交流172nm準分子光科技在半導(dǎo)體制造中的創(chuàng)新應(yīng)用,共探制程優(yōu)化新路徑。
  172nm MINI實驗?zāi)=M 新品首發(fā)
 
  本次展會,廣明源將首發(fā)推出自主研發(fā)的新品——172nm MINI實驗?zāi)=M。該產(chǎn)品專為半導(dǎo)體工藝研發(fā)、制程驗證及小批量試產(chǎn)環(huán)節(jié)設(shè)計,具備結(jié)構(gòu)精簡、成本可控、桌面即放即用、便攜靈活等特點,適配多種實驗環(huán)境與制程需求。
 
  172nm 深紫外黑科技
 
  可高效分解晶圓表面有機殘留,提升潔凈度與附著性能,為封裝、清洗等工藝提供穩(wěn)定前處理方案。
  極簡結(jié)構(gòu),桌面級準分子實驗新體驗
 
  由于傳統(tǒng)準分子光輻照器因高純度 N?填充結(jié)構(gòu)復(fù)雜,難以實現(xiàn)桌面級靈活實驗。廣明源創(chuàng)新推出緊湊臺式準分子光照射器——172nm MINI實驗?zāi)=M,機身僅相當于書本大小,采用高集成輕量化設(shè)計,打破空間與成本壁壘,助力高校、企業(yè)及研究機構(gòu)輕松搭建準分子光實驗環(huán)境,滿足平板顯示光清洗、塑料表面改性等多領(lǐng)域研發(fā)需求。
 
  應(yīng)用領(lǐng)域:
 
  表面有機污染物去除
 
  表面活化與改性
 
  封裝工藝表面清潔處理
 
  超凈化超微細清洗工藝驗證
 
  172nm 系列全線亮相共襄盛會
 
  除新品發(fā)布外,廣明源還將展出多款172nm準分子系列光源與模組產(chǎn)品,覆蓋晶圓清洗、半導(dǎo)體基材表面活化、超純水TOC降解等多個關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié),為制程優(yōu)化與設(shè)備升級提供更多選擇。
 
  172nm準分子系列光源
  172nm準分子系列模組及設(shè)備
  SEMI-e 2025 ,誠邀蒞臨
 
  歡迎半導(dǎo)體制造企業(yè)、設(shè)備廠商、工藝研發(fā)工程師及行業(yè)伙伴蒞臨參觀交流,現(xiàn)場了解172nm準分子光科技在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的多元應(yīng)用,共同探討合作機會。
 
  觀展指南
 
  2025 SEMI-e 中國(深圳)國際半導(dǎo)體展覽會
 
  時間:2025年6月4-6日
 
  地點:深圳國際會展中心14號館
 
  展位號:14G22
 
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