半導(dǎo)體封裝、3C 電子、線路板行業(yè)、生物醫(yī)療、新能源、國防航空。

1.   AL6061 材質(zhì)真空腔體：級別密封，避免氣體泄露，實(shí)現(xiàn)高效的真空度，為等離子體創(chuàng)造的反應(yīng)條件;

2.   采用高質(zhì)量等離子射頻電源：13.56Mhz,確保高能量，高密度，均勻等離子體產(chǎn)生，確保出眾的表面處理效果;

3.   真空系統(tǒng)： 雙級旋片真空泵，真空專用電磁角閥、充氣閥、KF40 不銹鋼真空波紋管；耐高溫、抗氧化、無排放污染，泵具有可自行緩解溫度過高的散熱體系，無需水冷;

4.   高精度氣體流量監(jiān)測系統(tǒng)：三路工藝氣體配置(氬氣、氧氣、氮?dú)猓?，雙路氣流控制，比例可調(diào)，采用高精度電子質(zhì)量流量計(jì)(MFC)、氣體管路及閥件;

5.   電極系統(tǒng)，多層電極隔板設(shè)計(jì)：結(jié)構(gòu)對稱損耗小，該設(shè)計(jì)對等離子激發(fā)空間均勻 性大大改善，在同一平面上等離子清洗的速率更加一致，控制電力參數(shù)由系統(tǒng)結(jié) 構(gòu)設(shè)計(jì)獲得，能很好的控制電極的溫度均一性，使電極對等離子的可控性大大提高，同時使電極間空間利用率達(dá)到;

6.   自主研發(fā)等離子體控制系統(tǒng): 可根據(jù)腔體環(huán)境精準(zhǔn)控制等離子體發(fā)生時間和反應(yīng)強(qiáng)度，可進(jìn)行多步工藝流程處理，采用品牌電器元件, 7”真彩觸摸屏，可編程控制器，可在線設(shè)定、修改、監(jiān)控真空壓力、處理時間、氣體流量、等離子功率等工藝參數(shù)，采用配方式參數(shù)系統(tǒng)，便捷切換不同工藝流程，并具有故障報警、工藝存儲、密碼等級管理等多種功能;

7.   強(qiáng)大的全面安全防護(hù)系統(tǒng)：溫度安全防護(hù)功能，過載防護(hù)功能，短路斷路報警防護(hù)功能，非法操作提示、清潔結(jié)束提示，各種誤操作保護(hù)功能等;

8.   處理全程無污染 ：等離子清洗機(jī)本身是很環(huán)保的設(shè)備，無產(chǎn)生任何污染，處理過程也無產(chǎn)生任何污染。