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新一代晶圓熱電偶測(cè)溫技術(shù)——TC wafer系統(tǒng)

2024年02月29日 15:07來(lái)源：上海智與懋檢測(cè)儀器設(shè)備有限公司>>進(jìn)入該公司展臺(tái)人氣：72

新一代晶圓測(cè)溫技術(shù)——TC wafer系統(tǒng)

TC-WAFER晶圓測(cè)溫系統(tǒng)應(yīng)用于高低溫晶圓探針臺(tái)，測(cè)量精度可達(dá)mk級(jí)別，可以多區(qū)測(cè)量晶圓特定位置的溫度真實(shí)值，也可以精準(zhǔn)描繪晶圓整體的溫度分布情況，還可以監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備控溫過(guò)程中晶圓發(fā)生的溫度變化，了解升溫、降溫以及恒溫過(guò)程中設(shè)備的有效性。

智測(cè)電子還提供整個(gè)實(shí)驗(yàn)室過(guò)程的有線溫度計(jì)量，保證溫度傳感器的長(zhǎng)期測(cè)量精度。

晶圓.11.jpg

合肥智測(cè)電子致力于高精度溫測(cè)、溫控設(shè)備的生產(chǎn)和研發(fā)定制，為半導(dǎo)體設(shè)備提供可靠的國(guó)產(chǎn)解決方案

TC為熱電偶（Thermocouple）的簡(jiǎn)稱。Tc Wafer熱電偶則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度的實(shí)時(shí)測(cè)量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實(shí)溫度測(cè)量值以及整天晶圓溫度分布；同時(shí)，也可利用此傳感器來(lái)持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫，降溫過(guò)程及延遲周期等。（溫度的均勻與否，良率）

TC Wafer主要應(yīng)用于PVD設(shè)備，CVD設(shè)備，RTA設(shè)備等半導(dǎo)體設(shè)備工藝溫度均一性檢測(cè)，用于判定半導(dǎo)體制程工藝是否存在溫度工藝缺陷的重要手段。

如有其他問題，請(qǐng)隨時(shí)提問，我將竭誠(chéng)為您提供幫助。

* 測(cè)量范圍和精度可以根據(jù)您的要求進(jìn)行調(diào)整；
* 溫度響應(yīng)時(shí)間可以控制在微秒級(jí)別；
* 傳感器的材料和工藝可以滿足特定的應(yīng)用需求；
* 可以提供即插即用的安裝方式和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。

我們可以根據(jù)您的具體需求，提供最合適的TC wafer傳感器解決方案，以確保生產(chǎn)過(guò)程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。如有需要，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取更多信息或定制服務(wù)。

新一代晶圓測(cè)溫技術(shù)——TC wafer系統(tǒng)

TC-Wafer晶圓測(cè)溫系統(tǒng)

高低溫探針臺(tái)晶圓測(cè)溫系統(tǒng)

(來(lái)源：上海智與懋檢測(cè)儀器設(shè)備有限公司)

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