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光刻機(jī)被譽(yù)為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“皇冠上的明珠”。在芯片制造中，每顆芯片都需要經(jīng)過光刻機(jī)的雕刻，且精度要達(dá)到頭發(fā)絲的千分之一。因此作為核心的機(jī)器，光刻機(jī)對(duì)于一個(gè)國(guó)家的芯片發(fā)展來說必不可少。但目前，我國(guó)卻并沒有掌握光刻機(jī)制造技術(shù)。
由于我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)起步較晚，同時(shí)光刻機(jī)研發(fā)和制造難度又極大，因此我國(guó)始終無法推開光刻機(jī)的大門。截至當(dāng)前，光刻機(jī)市場(chǎng)主要玩家仍然只有荷蘭、美國(guó)和日本，發(fā)展基本被其所壟斷。在此背景下， 一直以來我國(guó)光刻機(jī)都依靠國(guó)外引進(jìn)。
例如在2020年，我國(guó)就向ASML訂購(gòu)了數(shù)臺(tái)EUV光刻機(jī)，但直到現(xiàn)在也還未能發(fā)貨。背后的原因，一方面是受到年初疫情的影響，另一方面是遭到了美國(guó)的阻撓。整個(gè)2020年，美國(guó)不僅對(duì)我國(guó)相關(guān)芯片企業(yè)發(fā)起制裁，同時(shí)還切斷了我國(guó)芯片供應(yīng)鏈。
不過，近日我國(guó)一家叫晶瑞股份的公司終于傳來好消息！耗時(shí)4個(gè)月，1月20日晶瑞股份從韓國(guó)代理商那里斥資7000余萬人民幣購(gòu)得了一臺(tái)二手ASML浸沒式光刻機(jī)，解了當(dāng)前我國(guó)芯片制造的燃眉之急。其預(yù)計(jì)，這臺(tái)光刻機(jī)將助力國(guó)產(chǎn)12英寸芯片。
這一消息雖然令人振奮和欣喜，但依然給我們敲響了警鐘。因?yàn)槲覀兛梢钥吹?，一來從?guó)外買進(jìn)的光刻機(jī)是如此昂貴，哪怕是別人用剩的；二來購(gòu)買光刻機(jī)是如此麻煩，耗時(shí)費(fèi)錢不說，還會(huì)受到外部環(huán)境的阻撓與沖擊；三來，購(gòu)得的光刻機(jī)也并不是很先進(jìn)。
基于此，我國(guó)要想實(shí)現(xiàn)芯片自力更生和獨(dú)立自主，還是需要推動(dòng)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)等關(guān)鍵技術(shù)與核心零部件的研發(fā)突破。這其中，除了要加速本土企業(yè)入局之外，也離不開國(guó)家隊(duì)的幫助。去年9月份，中科院就曾表示將把美國(guó)卡脖子清單變成我國(guó)科研任務(wù)清單。
未來，在政企研三力合一的情況下，期待我國(guó)在芯片制造上能取得突破。
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