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芯源微擬定增募資10億元 投入高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化等項(xiàng)目

2021-06-16 09:06:26來(lái)源:TechWeb 關(guān)鍵詞:芯片芯片制造閱讀量:21219

導(dǎo)讀:據(jù)悉芯源微主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備、單片式濕法設(shè)備等。
  6月15日消息,沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司發(fā)布了2021年度向特定對(duì)象發(fā)行A股股票預(yù)案。本次向特定對(duì)象發(fā)行A股股票總金額不超過(guò)100,000.00萬(wàn)元(含本數(shù)),本次募集資金總額在扣除發(fā)行費(fèi)用后的凈額將用于高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化等項(xiàng)目。
 
  據(jù)悉芯源微主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備(涂膠/顯影機(jī)、噴膠機(jī))和單片式濕法設(shè)備(清洗機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)),可用于8/12英寸單晶圓處理(如集成電路制造前道晶圓加工及后道封裝環(huán)節(jié))及6英寸及以下單晶圓處理(如化合物、MEMS、LED芯片制造等環(huán)節(jié))。
 
  (原標(biāo)題:芯源微擬定增募資10億元 投入高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化等項(xiàng)目)
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