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下代EUV光刻機(jī)要來了 炬光科技:是ASML核心供應(yīng)商的重要供應(yīng)商

2022-01-25 17:12:27來源:快科技 關(guān)鍵詞:光刻機(jī)光刻設(shè)備閱讀量:23911

導(dǎo)讀:炬光科技表示,公司為半導(dǎo)體光刻應(yīng)用領(lǐng)域提供光刻機(jī)曝光系統(tǒng)中的核心激光光學(xué)元器件光場勻化器,是荷蘭ASML光學(xué)設(shè)備核心供應(yīng)商A公司的重要供應(yīng)商。相關(guān)商用情況請以官方披露為準(zhǔn)。
  1月25日消息,針對投資提問ASML的新一代光刻機(jī)EXE:5200是否使用了炬光科技的產(chǎn)品,炬光科技回應(yīng)稱公司是ASML公司核心供應(yīng)商A公司的重要供應(yīng)商。
 
  炬光科技表示,公司為半導(dǎo)體光刻應(yīng)用領(lǐng)域提供光刻機(jī)曝光系統(tǒng)中的核心激光光學(xué)元器件光場勻化器,是荷蘭ASML光學(xué)設(shè)備核心供應(yīng)商A公司的重要供應(yīng)商。相關(guān)商用情況請以官方披露為準(zhǔn)。
 
  上周的Q4財報會議上,ASML公司確認(rèn)將推出下一代的高NA EUV光刻機(jī),NA值從0.33提升到0.55,進(jìn)一步提高光刻分辨率,是制造2nm及以下工藝的關(guān)鍵設(shè)備。
 
  Q4季度中,ASML公司還新增了71億歐元的新訂單,其中就有一套NA 0.55高數(shù)值孔徑EUV光刻機(jī)的銷售,這是ASML下一代光刻機(jī),訂購這個光刻機(jī)的是Intel,據(jù)說成本高達(dá)3億美元,約合19億元。
 
  4年來Intel實際上已經(jīng)下單了6臺NA 0.55的EUV光刻機(jī),其中分為兩種,Twinscan Exe:5000系列主要用于工藝研發(fā),產(chǎn)能輸出是185WPH,每小時生產(chǎn)185片晶圓,2023年上半年交付。
 
  量產(chǎn)型的NA 0.55光刻機(jī)是Twinscan Exe:5200,產(chǎn)能提升到200WPH,每小時200片晶圓,預(yù)計會在2024年下線,Intel的20A工藝正好是在2024年量產(chǎn)。 

       (原標(biāo)題:下代EUV光刻機(jī)要來了 炬光科技:是ASML核心供應(yīng)商的重要供應(yīng)商)
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