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這家廠商斬獲多個(gè)激光退火設(shè)備大訂單

2023-05-29 14:27:24來(lái)源：OFweek激光網(wǎng) 關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體存儲(chǔ)設(shè)備存儲(chǔ)設(shè)備閱讀量：20828

導(dǎo)讀：日前，美國(guó)維易科精密儀器(Veeco Instruments)公司宣布，公司從一家全球先進(jìn)的半導(dǎo)體存儲(chǔ)設(shè)備制造商那里獲得了多個(gè)激光尖峰退火(LSA)設(shè)備訂單。
　　值得注意的是，這是Veeco Instruments首個(gè)用于大批量生產(chǎn)DRAM設(shè)備的系統(tǒng)。該公司還宣布，它收到了來(lái)自其最新先進(jìn)客戶的多個(gè)訂單，以支持其產(chǎn)量增長(zhǎng)。公司表示，將繼續(xù)執(zhí)行其通過(guò)新應(yīng)用擴(kuò)大份額的戰(zhàn)略。
 
　　對(duì)于此次順利斬獲多個(gè)大訂單，Veeco產(chǎn)品線管理高級(jí)副總裁Adrian Devasahayam博士評(píng)論稱：“很自豪我們的LSA平臺(tái)被先進(jìn)的內(nèi)存和邏輯(Logic)設(shè)備制造商選擇用于大批量生產(chǎn)。Veeco的LSA系統(tǒng)被廣泛認(rèn)為是低熱預(yù)算應(yīng)用的最佳退火解決方案。隨著設(shè)備在高級(jí)節(jié)點(diǎn)上的發(fā)展，我們的LSA平臺(tái)的精密退火變得越來(lái)越重要。在DRAM設(shè)備市場(chǎng)的成功滲透，預(yù)計(jì)將顯著擴(kuò)增我們的服務(wù)市場(chǎng)。”
 
　　激光尖峰退火/激光脈沖退火是一種用于半導(dǎo)體前端制造的毫秒退火技術(shù)，通過(guò)激活摻雜劑來(lái)降低關(guān)鍵晶體管結(jié)構(gòu)的電阻。據(jù)介紹，Veeco的LSA系統(tǒng)能夠進(jìn)行高溫退火，同時(shí)在前沿節(jié)點(diǎn)保持先進(jìn)設(shè)備的低熱預(yù)算。這些退火步驟有助于確定所得到器件的電氣特性和性能。
 
　　據(jù)透露，這些新訂單來(lái)自Veeco Instruments位于美國(guó)加州圣何塞的新工廠，代表了半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)Veeco先進(jìn)工藝技術(shù)不斷增長(zhǎng)的需求。
 
　　據(jù)Veeco Instruments在5月8日發(fā)布的2023年第一季度財(cái)報(bào)，公司在該季度實(shí)現(xiàn)營(yíng)收1.535億美元，預(yù)計(jì)2023年二季度營(yíng)收在1.45億美元至1.65億美元之間。
 
　　公司首席執(zhí)行官Bill Miller指出，該季度公司的激光退火業(yè)務(wù)成為了一大亮點(diǎn)，并且正不斷獲得增長(zhǎng)動(dòng)力，公司獲得了關(guān)鍵客戶的額外退火設(shè)備訂單。與此同時(shí)他表示，公司也看到了先進(jìn)節(jié)點(diǎn)內(nèi)存市場(chǎng)的牽引力，這對(duì)公司而言是一個(gè)重要的長(zhǎng)期增長(zhǎng)機(jī)會(huì)。
 
　　激光退火已逐漸成為新一代的主流退火技術(shù)，它在集成電路中的應(yīng)用主要圍繞3大方面：1)給半導(dǎo)體器件的電機(jī)退火，金屬化形成歐姆接觸；2)給集成電路內(nèi)部的連接退火；3)給3D的結(jié)構(gòu)做退貨，如存儲(chǔ)器、NEMS等退火。
 
　　關(guān)于Veeco Instruments
 
　　Veeco Instruments是一家創(chuàng)新的半導(dǎo)體工藝設(shè)備制造商，其激光退火、離子束、化學(xué)氣相沉積(CVD)、金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)、單晶片蝕刻和清潔以及光刻技術(shù)在先進(jìn)半導(dǎo)體器件的制造和封裝中發(fā)揮著重要作用。公司提供在先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)上具有革命性的低擁有成本、HVM 生產(chǎn)經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的激光尖峰退火技術(shù)解決方案。
 
　　公司的主要品牌有：DI掃描探針顯微鏡、近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡、DEKTAK探針輪廓儀、WYKO激光干涉儀和光學(xué)輪廓儀、NEXUS離子束沉積系統(tǒng)、TurboDisc金屬有機(jī)化學(xué)汽相沉積、VEECO分子束外延系統(tǒng)、SPECTOR鍍膜系統(tǒng)、VEECO離子源等等。
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