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ASML嚇壞?俄羅斯開發(fā)出可替代光刻機的芯片制造工具:還要生產(chǎn)7nm芯片

2023-10-10 10:24:35來源:快科技 關(guān)鍵詞:光刻機芯片制造工具閱讀量:21679

導(dǎo)讀:據(jù)俄羅斯國際新聞通訊社報道,圣彼得堡理工大學(xué)的研究人員開發(fā)出了一種“國產(chǎn)光刻復(fù)合體”,可用于蝕刻生產(chǎn)無掩模芯片,這將使“解決俄羅斯在微電子領(lǐng)域的技術(shù)主權(quán)問題”成為可能。
  10月10日消息,這對于ASML來說是不是有點魔幻,俄羅斯號稱開發(fā)出可以替代光刻機的芯片制造工具。
 
  據(jù)俄羅斯國際新聞通訊社報道,圣彼得堡理工大學(xué)的研究人員開發(fā)出了一種“國產(chǎn)光刻復(fù)合體”,可用于蝕刻生產(chǎn)無掩模芯片,這將使“解決俄羅斯在微電子領(lǐng)域的技術(shù)主權(quán)問題”成為可能。
 
  據(jù)介紹,其中一種工具的成本為 500 萬盧布(當(dāng)前約36.3萬元人民幣),另一種工具的成本未知。
 
  據(jù)開發(fā)人員稱,傳統(tǒng)光刻技術(shù)需要使用專門的掩膜板來獲取圖像。該裝置由專業(yè)軟件控制,可實現(xiàn)完全自動化,隨后的另外一臺設(shè)備可直接用于形成納米結(jié)構(gòu),但也可以制作硅膜,例如用于艦載超壓傳感器。
 
  在這之前,俄羅斯科學(xué)院下諾夫哥羅德應(yīng)用物理研究所就宣布開始朝這個方向展開工作,所以有上述成功產(chǎn)生并不意外。
 
  要知道,俄羅斯大諾夫哥羅德策略發(fā)展機構(gòu)發(fā)豪語,宣稱俄羅斯科學(xué)院旗下應(yīng)用物理研究所將會跌破所有人眼鏡,在2028年開發(fā)出可以生產(chǎn)7納米芯片的光刻機,還可擊敗ASML同類產(chǎn)品。
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