工控摘要：微壓力控制器、變送器作為微傳感器中一個(gè)重要分支。目前，微壓傳感器的靈敏度普遍偏低、線性度較差，由此，研究如何提高傳感器的靈敏度、改善非線性具有重要實(shí)際意義。
　　
　　通常采用高應(yīng)變系數(shù)材料作為敏感元件。這里我們可以對(duì)敏感器件的結(jié)構(gòu)尺寸進(jìn)行優(yōu)化，對(duì)電阻條位置尺寸進(jìn)行優(yōu)化。本文提及一種量程為200kPa、采用E結(jié)構(gòu)微壓力傳感器，該結(jié)構(gòu)綜合了平膜和島膜高靈敏度、線性度好的兩者優(yōu)點(diǎn)。
　　
　　1.壓阻傳感器測(cè)量原理
　　
　　利用硅片良好的變形能力與顯著壓阻效應(yīng)，選用硅作為壓阻微壓傳感器主要材料。其測(cè)量原理也根據(jù)硅的壓阻效應(yīng)，當(dāng)在硅片上施加某一方向的壓力或拉力后，其材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)將發(fā)生變化，造成內(nèi)部結(jié)構(gòu)扭曲，帶來載流相對(duì)能量變化，使硅固有電阻率發(fā)生變化，改變電阻。即通過壓力改變電阻變化，給以一個(gè)可變換的信號(hào)。
　　
　　首先是硅膜結(jié)構(gòu)選取，當(dāng)前壓阻式微壓傳感器正朝著低量程、高靈敏度方向發(fā)展。本文采用這種E型結(jié)構(gòu)薄膜無論是在過載能力、線性度，還是在電阻感應(yīng)應(yīng)力上，均優(yōu)于其他類型結(jié)構(gòu)薄膜；其次，壓敏電阻條寬、長(zhǎng)度的選擇。壓阻式微壓傳感器對(duì)溫度改變較為敏感，要盡可能地降低測(cè)量過程中自身產(chǎn)生的熱量，因此考慮到面積功耗、電流大小，依據(jù)計(jì)算公式，zui終確定適合的壓阻條寬和壓阻長(zhǎng)度。
　　
　　2.測(cè)量分析結(jié)果
　　
　　通過仿真測(cè)試確定薄膜尺寸及電阻位置尺寸，主要考慮其對(duì)線性度和靈敏度影響。仿真時(shí)，改變其中一個(gè)參數(shù)，而保持其他變化。再選擇每個(gè)參數(shù)*值，考慮變形與輸出電壓、變形越大，則線性度越差、過載能力越低；反之，靈敏度越高。仿真過程對(duì)比薄膜邊距離、薄膜厚度、薄膜邊長(zhǎng)、電阻長(zhǎng)度和電阻折數(shù)等參數(shù)進(jìn)行測(cè)試。以保證較高靈敏度、良好的線性度、過載能力等方面。總之，彈性膜片、壓敏電阻直接決定了壓阻式微壓傳感器靈敏度和線性度，文中提出改變壓電電阻尺寸與位置的研究方法具有一定的參考價(jià)值。
　　
　　作為微型傳感儀器的主流產(chǎn)品，微壓傳感器具有體積小、響應(yīng)快、功耗低、可靠性高、易于集成和智能化等特點(diǎn)。現(xiàn)已被廣泛運(yùn)用于家電、裝備制造業(yè)、航天工程、環(huán)境檢測(cè)等領(lǐng)域內(nèi)。